2014.08.20 RTR真空プラズマ装置を開発しました

2014年08月20日 category : マーケット情報 

RTRタイプの真空プラズマ装置を開発しました。

マイクロ波によるスキャニング方式によって高い面内均一性を実現

用途:デスミア、アッシュ除去 など

仕様:250㎜幅用、500㎜幅用 など

RTR真空プラズマ装置 カタログ

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